半導(dǎo)體封裝在線式等離子清洗機

產(chǎn)品型號：NE-OPE1000
性能特點：獨立片式清洗，全自動運行
產(chǎn)品用途：引線框架、LED支架清洗

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產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品參數(shù)

在線式等離子清洗機總體分為四個部分：設(shè)備主體、上下料系統(tǒng)、物料傳輸系統(tǒng)和等離子清洗系統(tǒng)。該設(shè)備采用適應(yīng)于引線框架全自動清洗運行方式，針對半導(dǎo)體封裝中引線框架上點膠裝片、芯片鍵合及塑封等工藝前清洗，大大提高粘接及鍵合強度等性能的同時，避免人為因素長時間接觸引線框架而導(dǎo)致的二次污染以及腔體式批量清洗時間長有可能造成的芯片損傷，適用于大規(guī)模生產(chǎn)的在線式引線框架清洗設(shè)備，解決了集成電路制造過程中設(shè)備人力成本高、生產(chǎn)效率低等技術(shù)難題。

工藝流程：
1）將裝滿引線框架的4個料盒放置在置取料平臺上，推料機構(gòu)將第一層料片推出至上下料傳輸系統(tǒng)。
2）上下料傳輸系統(tǒng)通過壓輪及皮帶傳輸將料片傳輸?shù)轿锪辖粨Q平臺的高臺上，通過撥料系統(tǒng)進行定位。
3）接好料片的平臺交換至等離子反應(yīng)腔室下方，通過提升系統(tǒng)將真空腔室閉合抽進行等離子清洗。當高臺傳輸?shù)角逑次粫r，低臺傳輸?shù)浇恿衔恢眠M行第二層的接料。高臺清洗結(jié)束后與低臺交換位置，低臺進行等離子清洗，高臺到接料位置進行回料。
4）物料交換平臺上的料片由撥料系統(tǒng)撥到上下料傳輸系統(tǒng)上,通過壓輪和皮帶傳回料盒，完成一個流程。推料機構(gòu)推下一層料片，進行下一個流程。

產(chǎn)品特點：
在線式等離子清洗采用自動的清洗方式，適用于大規(guī)模的生產(chǎn)線，節(jié)省人工，降低勞動力成本；
整個工藝流程50s內(nèi)即可完成，使清洗效率獲得極大的提高，優(yōu)勢最為明顯；
每條軌道的寬度可調(diào)，可兼容不同規(guī)格尺寸的產(chǎn)品；
獨立片式清洗，清洗均勻性大幅度提升；

作為一種精密干法清洗設(shè)備，等離子清洗機可以有效去除半導(dǎo)體封裝工藝過程中的污染物，改善材料表面性能，增加材料表面能量。與傳統(tǒng)獨立式的等離子清洗設(shè)備相比，在線式等離子清洗設(shè)備具有自動化程度高、清洗效率高、設(shè)備潔凈度高、適應(yīng)范圍廣等優(yōu)點，適用于大規(guī)模全自動化生產(chǎn)。

型號	NE-OPE1000在線式等離子清洗機
整機尺寸	LWH：2000mm* 1200mm* 1700mm
電源	1PH220V、40A、50 Hz
壓縮空氣	0.4-0.6MPa
環(huán)境需求	溫度：15~25℃濕度：40~60%
制程氣體	標配Ar
射頻電源	1KW，13.56MHz
真空泵	干泵
控制系統(tǒng)	PC+人機界面
可清洗產(chǎn)品規(guī)格	產(chǎn)品長度：120mm-270mm，產(chǎn)品寬度：40mm-83mm

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